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深圳市中圖儀器股份有限公司

PRODUCT DISPLAY

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白光干涉測量儀

參  考  價: 960000

訂  貨  量: ≥1 臺

具體成交價以合同協(xié)議為準

產(chǎn)品型號:SuperViewW1

品       牌:中圖儀器

廠商性質(zhì):生產(chǎn)商

所  在  地:深圳市

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更新時間:2025-03-07 07:38:01瀏覽次數(shù):1296次

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羅健

經(jīng)理
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產(chǎn)地 國產(chǎn) 加工定制
SuperViewW1白光干涉測量儀在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護,守護設(shè)備和產(chǎn)品。

白光干涉儀可以對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、面形輪廓、腐蝕情況、波紋度、平面度、孔隙間隙、臺階高度、彎曲變形情況、磨損情況、表面缺陷、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。


中圖儀器SuperViewW1白光干涉測量儀在鏡頭的上方安裝有機械防撞傳感器,當鏡頭向下位移與樣品表面直接接觸時,觸發(fā)感應器,鏡頭與樣品表面變?yōu)檐浗佑|,并觸發(fā)緊急停止開關(guān),不再響應向下位移的指令,避免鏡頭和樣品的損傷,雙重防護,守護設(shè)備和產(chǎn)品。


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大多數(shù)的場景中,只需檢測一個數(shù)十、數(shù)百微米的區(qū)域,但在少數(shù)需要檢測超精密器件表面全貌的場景中,SuperViewW1白光干涉測量儀的自動拼接功能,能夠快速實現(xiàn)大區(qū)域、高精度的測量,還支持自動聚焦功能,只需將Z向調(diào)到貼近樣品表面(小于鏡頭工作距離),選擇好聚焦范圍,即可自動聚焦到樣品清晰成像表面并獲取干涉條紋。廣泛應用于半導體制造及封裝工藝檢測、光學加工、微納材料及制造、汽車零部件、3C電子玻璃屏及其精密配件、MEMS器件等超精密加工行業(yè)及航空航天、科研院所等領(lǐng)域中。


技術(shù)參數(shù)

產(chǎn)品型號:SuperView W1系列

產(chǎn)品名稱:光學3D表面輪廓儀

影像系統(tǒng):1024×1024

光學ZOOM:0.5×,(0.75×,1×可選)

干涉物鏡:10×,(2.5×,5×,20×,50×,100×可選)

XY平臺:尺寸320×200mm,行程140×110mm,電動、手動同時具備,均為光柵閉環(huán)反饋

Z軸行程:100mm,電動

Z向掃描范圍:10mm

Z向分辨率:0.1nm

水平調(diào)整:±5°手動

粗糙度RMS重復性:0.005nm

臺階高測量:準確度0.3%,重復性0.08% 1σ

主要特點:非接觸式無損檢測,一鍵分析、測量速度快、效率高

生產(chǎn)企業(yè):深圳市中圖儀器股份有限公司

注釋:更多詳細產(chǎn)品信息,請聯(lián)系我們獲取


特點

一是非接觸高精密測量,不會劃傷甚至破壞工件;

二是測量速度快,不必像探頭逐點進行測量;

三是不必作探頭半徑補正,光點位置就是工件表面測量的位置;

四是對高深寬比的溝槽結(jié)構(gòu),可以快速而準確的得到理想的測量結(jié)果。


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